UTHM Institutional Repository

Mask design fabrication and test NMOS transistor

Sahdan, Mohd Zainizan (2004) Mask design fabrication and test NMOS transistor. Masters thesis, Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn.

[img] Text
24_Pages_from_MASK_DESIGN,_FABRICATION_AND_TEST_NMOS_TRANSISTOR.pdf

Download (1MB)
[img] Text (Full Text)
MASK DESIGN, FABRICATION AND TEST NMOS TRANSISTOR full.pdf
Restricted to Registered users only

Download (19MB) | Request a copy

Abstract

Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki.

Item Type: Thesis (Masters)
Subjects: T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering > TK7800-8360 Electronics
Depositing User: Norfauzan Md Sarwin
Date Deposited: 19 Apr 2011 07:26
Last Modified: 07 Jan 2020 02:53
URI: http://eprints.uthm.edu.my/id/eprint/1146
Statistic Details: View Download Statistic

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year